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薄膜厚度测量方法

发布日期:2018-11-13    点击次数:6784次    
薄膜厚度测量方法

  显微镜法:采用显微镜检测横断面,以测量薄膜局部厚度的方法。一般厚度检测需要大于1um,才能保证测量结果在误差范围之内;厚度越大,误差越小。

  原理:利用显微镜原理,对厚度截面进行放大,以便准确的观测及测量。

  对样品的要求:由于显微镜法测样品的厚度为局部厚度,对于一些厚度不一致的样品,需要指定具体的部位。如没有特殊要求,一般取一个较均匀的部位进行测量。


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